一、污染源控制
无尘室洁净度维持和控制，除了设备之外，也需要良好的软件——管理制度来搭配。无尘室内微污染来源，经测试分析结果，作业人员占约80%，通风净化占15%，房屋建筑占5%。洁净室污染主要原因是人的因素。无尘室微污染控制，应遵守以下基本原则：
     1.外部侵入：　无尘室适当正压保持（>0.5mmAq），做好施工工程不漏气，人员设备、原材料进入无尘室前先做好清洁擦拭等，空气过滤器适当的管理和设置。
     2.室内产尘：隔间板、地板等无尘室材料的适当选用、生产设备产尘控制、洁净衣的管理、使用无尘室专用器等。
     3.室内布局：墙壁体应光滑无死角、无尘室需定期保养和清扫、生产设备四周应留有空间。
     4.尘埃排除：换气次数应足够，适当的空间布置以及污染源接排气和空调的气流速度须适当。

二、无尘室运转管理
1.作业人员管理
  （1）进入无尘室人员以维持最小限度原则（愈少愈好），并依无尘室进出标准流程进出无尘室。出则不须经风淋室脱尘处理。对作业人员必须经常讲解无尘室管理规范，加以教育与训练，经考试合格者方能进入无尘室工作。
  （2）无尘室工作人员须注意以下事项：a.不可在作业区域气流之上方放置物品；b.不必要动作尽量避免以防止乱流产尘；c.与作业无关的谈话尽量避免；d.为控制产尘量，人员走动及作业要静静地进行；e.作业要在操作台面上进行；f.工具等须放入专用柜中，并固定放在一定的场所。
  （3）以下情况不宜进入无尘室：a.刚做激烈运动流汗者；b.吸烟或吃东西后，尚未经过半小时以上者；c.因日晒、湿诊而皮肤有问题者；d.化学纤维或有机溶剂等化学药品有过敏性体质者；e.容易出受汗者；f.化妆或涂口红者;g.因哮喘、咳嗽或喷嚏者及不能安静工作者。
  （4）以下物品不能进入无尘室：a.没有经过清洁等各种物品；b.纸箱及未经处理的笔记用纸等；c.铅笔、橡皮擦、墨水等；　d.香烟、化妆品、卫生纸、饮食品等；e.打火机、宝石、装饰品、钱包、钥匙、手帕、小日记手册等个人物品。

2.原物料、设备进出管理
   原物料及设备进出无尘室，工作人员在室内清洁设备或物料时须穿着洁净衣服，所使用擦拭纸为无尘纸或无尘布，清洁剂可以使用纯水，搬运设备时为免破坏地板表面，须事先在地板上做保护。

3.无尘室内用品管理
   洁净衣鞋帽子等须由专人管理，并定期做清洗，清洗须在无尘室内进行，并以纯水配合清洁溶剂。洗涤周期视洁净度等级而定，在高洁净区（CLASS1）为2~3天，其它区域则为5-7天，洗涤完毕干燥后应立即密封。洁净衣之置放场所应为无尘室，并存放柜内，正使用的可挂在衣架上，方便取用。
   桌椅一般以不锈钢材质为佳，表面须加工处理。工作桌最好有打洞。椅子尽量采用没有背及脚踏板，椅脚高度以坐下来脚可以触到地板为原则，桌及椅子脚最好安装上塑料小轮子或套上橡胶套。
   无尘室应当使用专用吸尘器，由于吸尘器吸取无尘室内尘埃的时候会有排气产生，如果未经处理，将严重影响无尘室洁净度和气流，因而吸尘器在排气口应配有高效过滤器，以除去尘埃。

三、无尘室各系统维护保养管理
   1.生产设备选择、布置与保养：　a.要选用产尘较少的生产设备，以容易清洁为原则；b.生产用水、气体、药品等应配备过滤装置；c.真空泵等应设置在无尘室外面或回风区，并加装排气；d.设置给水管线、气体管线和电气系统时，构造考虑到容易清洁，不易积累污染物；e.生产及相关设备应定期清扫，以避免微尘之堆积；f.应加强注意室内的温湿度控制，避免因湿度之不当造成结露生锈；g.当设备维维修时尽量于清洁室外进行，或加以隔离栅隔离；h.对于施工、维修厂商，应告知进出无尘室各项规定，并安排专人监工；i.应有无尘室专用工具组，但不得带出无尘室外使用。
    2.生产设备防尘措施：a.打磨、切削时需将发尘部分掩盖；b.易产生尘埃设备，尽量布置于车间边角地点；c.为不使气体或液体滞留，造成微污染，故管路配置应有旁路阀设置。
    3.建筑物维护管理：a.建筑物内定期检查清洁；b.地板清扫，每天两次；c.隔间墙及天花板检查清洁每周一次；d.窗户及门保养每周一次。
    4.防尘空调设备维护管理：a.温、湿度及尘埃浓度管理；b.过滤网管理：定期检查及更换；c.空气调节器管理：定期检查隔板接缝及内部污染状况，冷热盘管是否有腐蚀现象；d.送风机管理：定期检查送风机运转状况；e.风管及出风口管理：检查风管是否有腐蚀、污染、尘埃堆积或保温脱落等；f.室内压力管理：连续监视室内压力记录，以维持正压为基准；g.冷冻主机、泵浦、锅炉及冷却水塔管理：定期检查保养及记录运转状况及水质变化分析，以调整加药量等；h.无尘室开机要点管理：启动后须稳定10分钟以上时开始作业。

各种过滤网建议更换周期

送风机之各项检查及周期