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不同产业/产品的洁净室关键粒径

不同产业/产品的洁净室关键粒径

产业/产品

关键粒径

精 密机 械

1~100μm

半导体

5~50μm

移植

5~20μm

涂漆抛光技术

5~10μm

制 药技 术

5~10μm

微 型 继电器

0.5~25μm

微 系 统技术

0.5~5μm

光 学部 件

0.3~20μm

微电子

0.03~0.5μm

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