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无尘室又可称做洁净室(Clean Room)、清净室、无尘车间，无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。无尘室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为无尘室或无尘车间、洁净室、清净室。无尘室控管之项目：1、能除去空气中飘游之微尘粒子。 2、能防止微尘粒子之产生。 3、温度和湿度之控制。4、压力之调节。5、有害气体之排除。6、结构物与隔间之气密性。7、静电之防制。8、电磁干扰预防。9、安全因素之考虑。10、节能之考量。